Reaktif manyetik alan sıçratma sistemi ile üretilen W(1-x)MoxO3 ince filmlerin karakterizasyonu ve gaz sensörü özellikleri

Basit Öğe Kaydı
dc.authoridDanışman: 0000-0002-3387-5095en_US
dc.contributor.advisorYılmaz, Mücahit
dc.contributor.authorErtuğrul, Sezin
dc.date.accessioned2020-12-16T07:38:03Z
dc.date.available2020-12-16T07:38:03Z
dc.date.issued2019en_US
dc.date.submitted2019-09-24
dc.departmentNEÜ, Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim Nanomühendislik Anabilim Dalıen_US
dc.descriptionYüksek Lisans Tezi.en_US
dc.description.abstractBu tez çalışmasında gaz sensörü olarak sıklıkla kullanılan malzemelerden ikisi olan MoO3 (Molybdenum trioxide) ve WO3 (Tungsten trioxide) yapıları, 400°C'de reaktif manyetik alan sıçratma sistemi kullanılarak bir araya getirilmiş ve W(1-x)MoxO3 (x = 0.0, 0.2, 0.4, 0.6, 0.8 ve 1.0) ince filmleri oluşturulmuştur. Oluşturulan ince filmlerin yapısal özellikleri XRD, Raman spektroskopisi, SEM ve AFM ile araştırılmıştır. Yapı arıtımı ile filmlerin kristal örgü parametreleri ve oksijen konsantrasyonları hesaplanmıştır. Filmlerin optik özellikleri UV-Vis spektroskopi ile incelenmiştir. Oluşturulan yapıların gaz sensözü özellikleri ise ev yapımı gaz sensörü ölçüm sisteminde analiz edilmiş ve CO2 gazını algıladığı tespit edilmiştir. Gaz sensörü analizleri oda sıcaklığında yapılmış ve üretilen ince filmlerden W0.6Mo0.4O3 kompozisyonunda, ince film CO2 ile temas ettiğinde film direncinde büyük bir artış gözlemlenmiştir. Diğer kompozisyonlarda CO2 varlığı ile birlikte dirençte azalma meydana gelmiştir. Oksijen eksikliğinin en fazla olduğu W0.6Mo0.4O3 ince filmi CO2 gaz algılama özelliği en yüksek, tepki süresi hızlı olan malzeme olarak tespit edilmiştir.en_US
dc.description.abstractIn this thesis, MoO3 (Molybdenum trioxide) and WO3 (Tungsten trioxide) structures, which are frequently used as gas sensors were combined at 400 °C using reactive magnetron sputtering system and W (1-x) MoxO3 (x = 0.0, 0.2) 0.4, 0.6, 0.8 and 1.0) thin films were formed. Structural properties of thin films were investigated by XRD, Raman spectroscopy, SEM and AFM. Crystal lattice parameters and oxygen concentrations of the films were calculated by structure refinement. The optical properties of the films were examined by UV-Vis spectroscopy. Gas sensor properties of the structures were analyzed in the homemade gas sensor measurement system and it was determined that it detects CO2 gas. Gas sensor analyzes were made at room temperature and a significant increase in film resistance was observed in the composition W0.6Mo0.4O3 from the thin films growth when the structure was in contact with CO2. In other compositions there was a decrease in resistance with the presence of CO2. W0.6Mo0.4O3 thin film, which has the highest oxygen deficiency, has been identified as the material with the highest CO2 gas detection and fast response time.en_US
dc.identifier.citationErtuğrul, S. (2019). Reaktif manyetik alan sıçratma sistemi ile üretilen W(1-x)MoxO3 ince filmlerin karakterizasyonu ve gaz sensörü özellikleri. (Yayınlanmamış Yüksek Lisans tezi). Necmettin Erbakan Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü Nanobilim ve Nanomühendislik Anabilim Dalı, Konya.en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12452/6470
dc.language.isotren_US
dc.publisherNecmettin Erbakan Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsüen_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectGaz sensörüen_US
dc.subjectİnce filmen_US
dc.subjectMoO3en_US
dc.subjectWO3en_US
dc.subjectreaktif manyetik alan sıçratmaen_US
dc.subjectGas sensorsen_US
dc.subjectMoO3en_US
dc.subjectWO3en_US
dc.subjectreactive magnetron sputteringen_US
dc.subjectthin filmen_US
dc.titleReaktif manyetik alan sıçratma sistemi ile üretilen W(1-x)MoxO3 ince filmlerin karakterizasyonu ve gaz sensörü özelliklerien_US
dc.title.alternativeCharacterization and gas sensor properties of W(1-x)MoxO3 thin films growth by reactive magnetron sputtering systemen_US
dc.typeMaster Thesisen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim
İsim:
sezin ertuğrul.pdf
Boyut:
4.37 MB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Yüksek Lisans Tezi.
İndir
Lisans paketi
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim Yok
İsim:
license.txt
Boyut:
1.44 KB
Biçim:
Item-specific license agreed upon to submission
Açıklama:
İndir

Koleksiyon

Fen Bilimleri Enstitüsü Tez Koleskiyonu