Elektrokaplama ile MEMS yapılarının üretimi

Basit Öğe Kaydı
dc.authorid265088en_US
dc.contributor.advisorErişmiş, Mehmet Akif
dc.contributor.authorİnce, Yasemen
dc.date.accessioned2020-09-18T17:14:34Z
dc.date.available2020-09-18T17:14:34Z
dc.date.issued2018en_US
dc.departmentNEÜ, Fen Bilimleri Enstitüsü, Elektrik-Elektronik Mühendisliği Anabilim Dalıen_US
dc.description.abstractMEMS elektronik ve mekanik sistemlerin minyatürleştirilmiş halidir. MEMS teknolojisi sağlık, savunma sanayi, otomotiv gibi birçok alanda düşük güç tüketimi, düşük maliyet, arttırılmış işlevselliği gibi sebeplerle tercih edilmektedir. Bu tez çalışmasında MEMS yapılarının üretiminde bir çok farklı alanda karşılaşılan nikel elektrokaplama ile ilgili incelemeler yapılmıştır. Nikel elektrokaplama ile üretilecek MEMS yapılarının tasarımları ve simülasyonları yapılmıştır. Nikel elektrokaplamada kaliteli MEMS yapılarının üretimine büyük etkisi olan baskı gerilimi; kaplama sıcaklığı, akım yoğunluğu, zaman gibi parametreler değiştirilerek optimize edilmiştir. KLayout programı kullanılarak hareketli ve hareketsiz MEMS yapıları tasarlanmıştır. Sonlu elemanlar simülasyon programı COMSOL Multiphysics kullanılarak hareketli MEMS yapılarının simülasyonları yapılmıştır ve tasarlanan yapıların üretimleri gerçekleştirilmiştir. Üretimi gerçekleştirilen yapıların SEM görüntüleri alınmıştır. Üretilen yapılar empedans analizörü ve prob istasyonu ile test edilmiştir. Necmettin Erbakan Üniversitesi laboratuvarında ilk kez hareketli ve hareketsiz MEMS yapılarının üretimi gerçekleştirilmiştir. Bu çalışma hem Mikro Elektro-Mekanik Sistemlerin Necmettin Erbakan Üniversitesinde yaygınlaşıp bilgi birikiminin artmasına zemin hazırlayacak hem de bu konuda çalışma yapan araştırmacılarla ortak çalışmalar yapılarak bu konuda yapılan çalışmaların geliştirilmesine katkı sağlayacaktır.en_US
dc.description.abstractMEMS is a miniaturized version of electronic and mechanical systems. MEMS technology is preferred for many reasons such as low power consumption, low cost and increased functionality in many areas such as health, defense industry and automotive. In this thesis, researches have been made about nickel electroplating encountered in many different areas during the production of MEMS structures. The designs and simulations of MEMS structures were performed for nickel electroplating process. Compressive stress which has a strong effect on the production of high quality MEMS structures in nickel electroplating, has been optimized by changing parameters such as plating temperatures, current density and time. Using the KLayout program, movable and stationary MEMS structures have been designed. Movable MEMS structures were simulated using the COMSOL Multiphysics finite element analysis program and designed structures were produced. SEM images of produced structures were taken. Produced structures were tested with the impedance analyzer and probe station. For the first time the production of movable and stationary MEMS structures has been realized in the laboratory of Necmettin Erbakan University. This study will contribute to the development of the studies on MEMS by working jointly with the researchers working on Micro Electro-Mechanical Systems as well as preparing the ground for the increase of knowledge of Micro Electro-Mechanical Systems in Necmettin Erbakan University.en_US
dc.identifier.citationİnce, Y. (2018). Elektrokaplama ile MEMS yapılarının üretimi. (Yayınlanmamış yüksek lisans tezi) Necmettin Erbakan Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Elektrik Elektronik Mühendisliği Anabilim Dalı, Konya.en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12452/3831
dc.language.isotren_US
dc.publisherNecmettin Erbakan Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsüen_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectElektrokaplamaen_US
dc.subjectMEMSen_US
dc.subjectMEMS rezonatör yapılarıen_US
dc.subjectMEMS test yapılarıen_US
dc.subjectElectroplatingen_US
dc.subjectMEMS resonator structuresen_US
dc.subjectMEMS test structuresen_US
dc.titleElektrokaplama ile MEMS yapılarının üretimien_US
dc.title.alternativeFabrication of MEMS structures using electroplatingen_US
dc.typeMaster Thesisen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim
İsim:
yasemen ince.pdf
Boyut:
16.09 MB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Yüksek Lisans Tezi
İndir
Lisans paketi
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim Yok
İsim:
license.txt
Boyut:
1.44 KB
Biçim:
Item-specific license agreed upon to submission
Açıklama:
İndir

Koleksiyon

Fen Bilimleri Enstitüsü Tez Koleskiyonu