Oksijen ve sıcaklığın reaktif magnetik alan sıçratma yöntemiyle büyütülen çinko oksit ince filmlere etkisi

Basit Öğe Kaydı
dc.authorid0000-0003-3933-4748en_US
dc.contributor.advisorYılmaz, Mücahit
dc.contributor.authorSezgin, Ayşegül
dc.date.accessioned2023-09-28T08:23:08Z
dc.date.available2023-09-28T08:23:08Z
dc.date.issued2023en_US
dc.date.submitted2023-06-22
dc.departmentNEÜ, Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim Nanomühendislik Anabilim Dalıen_US
dc.descriptionYüksek Lisans Tezien_US
dc.description.abstractÇinko oksit (ZnO), yarı iletken endüstrisinde gösterdiği saydam iletken oksit (SİO) özelliği ile hızla gelişmekte olan optoelektronik teknolojisinde sıklıkla kullanılan bir malzemedir. Bu tez çalışmasında, reaktif radyo frekans magnetik alan sıçratma yöntemi ile büyütülen ZnO ince filmlerin büyütme esnasında ortamda bulunan oksijen ve alttaş sıcaklığına bağlılığı yapısal ve optik özellikleri açısından değerlendirilmiştir. Yapılan X-ışınları kırınım deseni analizleri sonucunda elde edilen bulgular incelendiğinde bütün filmlerin yüksek yönelime sahip hekzagonal wurtzite yapısında olduğu ve bunun O2 miktarına bağlı olmadığı sonucuna ulaşılmıştır. Ayrıca, Raman spektrumları da wurtzite yapısının varlığını doğrulamaktadır. Aynı zamanda tüm örneklerin yüksek geçirgenliğe sahip olduğu ve film kalınlıklarının sıcaklık artışı ile azaldığı tespit edilmiştir. Alan etkili taramalı elektron mikroskobu (FE-SEM) ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) sonuçları ise filmlerdeki taneciklerin oda sıcaklığında, 100 oC'de ve 200 oC'de çok değişmediği ancak 300 oC sıcaklıkta büyütülen filmlerin homojen olmayan tanecik büyümesi sergilediği tespit edilmiştir. Ancak, bu durum O2 arttıkça azalmaktadır. Bütün filmler için optik bant boşluğu ⁓3.25 eV olarak tespit edilmiştir. Yapılan bu çalışma, optoelektronikte oldukça sık kullanılan ince film çinko oksit yapılarına ilişkin kapsamlı bir optimizasyon sunmuştur.en_US
dc.description.abstractZinc oxide (ZnO) is a material that is frequently used in optoelectronic technology, which is rapidly developing with its transparent conductive oxide (TCO) feature in the semiconductor industry. In this thesis, the dependence of ZnO thin films grown by reactive radio frequency magnetic field sputtering to the oxygen and substrate temperature in the environment during growth was evaluated in terms of their structural and optical properties. When the findings obtained as a result of the X-ray diffraction pattern analyzes were examined, it was concluded that all the films were in the hexagonal wurtzite structure with high orientation and this was not dependent on the amount of O2. In addition, Raman spectra confirm the existence of wurtzite structure. At the same time, it was determined that all samples had high permeability and the film thicknesses decreased with the increase in temperature. Field-effect scanning electron microscopy (FE-SEM) and atomic force microscopy (AFM) results showed that the particles in the films did not change much at room temperature, 100 oC and 200 oC, but the films grown at 300 oC showed inhomogeneous particle growth. However, this situation decreases as O2 increases. The optical band gap for all films was determined as ⁓3.25 eV. This study presented a comprehensive optimization of thin-film zinc oxide structures, which are widely used in optoelectronics.en_US
dc.identifier.citationSezgin, A. (2023). Oksijen ve sıcaklığın reaktif magnetik alan sıçratma yöntemiyle büyütülen çinko oksit ince filmlere etkisi. (Yayımlanmamış yüksek lisans tezi). Necmettin Erbakan Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim ve Nanomühendislik Anabilim Dalı, Konya.en_US
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12452/10126
dc.language.isotren_US
dc.publisherNecmettin Erbakan Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsüen_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectÇinko Oksiten_US
dc.subjectİnce Filmen_US
dc.subjectMagnetik Alan Sıçratmaen_US
dc.subjectSaydam İletken Oksiten_US
dc.subjectRf Magnetron Sputteringen_US
dc.subjectZinc Oxideen_US
dc.subjectThin Filmsen_US
dc.subjectTransparent Conductive Oxideen_US
dc.titleOksijen ve sıcaklığın reaktif magnetik alan sıçratma yöntemiyle büyütülen çinko oksit ince filmlere etkisien_US
dc.title.alternativeEffect of oxygen and temperature on zinc oxide thin films grown by reactive magnetron sputtering methoden_US
dc.typeMaster Thesisen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim
İsim:
AYŞEGÜL SEZGİN.pdf
Boyut:
5.03 MB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Yüksek Lisans Tezi
İndir
Lisans paketi
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim Yok
İsim:
license.txt
Boyut:
1.44 KB
Biçim:
Item-specific license agreed upon to submission
Açıklama:
İndir

Koleksiyon

Fen Bilimleri Enstitüsü Tez Koleskiyonu